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Pura Plus在線微量濕度異動變送器

  • 更新時間:  2025-11-07
  • 產品型號:  
  • 簡單描述
  • Pura Plus在線微量濕度異動變送器是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應Z末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜,涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。
詳細介紹
Pura Plus在線微量濕度異動變送器尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器,多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應zui末端,用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜,涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后,會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入,影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示,在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
 

亮點

  • 對 ppb 級別濕度異動的快速響應
  • 低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
  • 多點測量安裝的全新概念
  • 維護要求低
  • 信號燈式的狀態(tài)指示
  • 可設置警告和報警點
  • Modbus 網絡兼容
  • 遠程控制界面的多通道軟件
  • (UHP) 超純氣體的管線檢測
 

技術指標

響應速度<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間
濕度量程1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍0 to 10 bar
耐壓等級300 bar
泄漏測試0-9 mbar l/s
工作流量范圍1 ~ 10 l/min
工作溫度5 ~ 40°C
存儲溫度30 ~ 70°C
電源20 ~ 28 V DC
功耗5 W zui大
外部保險絲等級500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出2 路
zui大電壓40 V DC
zui大電流100 mA
氣體接觸的材質
外殼材質不銹鋼 AISI 316L, 內表面電拋光 <10 Ra
傳感器結構氧化鋁電解質, 上層鍍金保護, 下層鋁層
內部容積4.4cm³
重量450g
氣路接口1/4" m VCR
電氣接口9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性EN50081-2 和 EN50082-2

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